天津大学 精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术教育部重点实验室,天津 300072
利用基于光纤的便携式偏振纠缠光子对源作为检测光源,搭建了使用单模光纤进行耦合的量子椭圆偏振光测量装置。实验测量了氧化层厚度为100 nm的氧化膜硅片样品,通过将偏振纠缠光子对中的一路经由氧化膜硅片样品进行反射,然后借助双光子符合计数方法测量反射后的量子态,得到了样品的椭圆偏振参数。当入射到样品上的光子波长为1 558.17 nm,入射角为30°时,通过三次实验所得的椭圆偏振参数(ψ,Δ)的平均值分别为40.23°和173.10°,标准差分别为0.046°和0.403°,测量结果的相对标准偏差小于1％,同时该结果与仿真模拟值相符。
椭圆偏振光测量 偏振纠缠光子 光纤 自发四波混频 Ellipsometry Polarization entanglement photons Fiber Spontaneous four-wave mixing
