1 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，陕西 西安 710032
2 中国重型机械研究院, 陕西 西安 710032
气囊柔性抛光是一种新型的精密光学元件的抛光技术，在非球面制造领域有着广泛的应用。采用柔性气囊抛光装置，选择了三种不同的抛光模层材料进行实验，分析了抛光材料对样片表面粗糙度与表面缺陷的影响。实验研究表明，呢绒是一种高效的非球面元件柔性抛光的模层材料，丝绒材料适用于高质量超光滑元件的抛光。
光学制造 气囊抛光 模层材料 表面粗糙度 激光与光电子学进展
2011, 48(4): 042202
