南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
为了实现微小尺度目标的光谱成像分析，提出了一种基于像面干涉技术的高光谱显微成像方法。研究了由显微物镜、准直镜、横向剪切分束器、成像镜和探测器等组成的干涉成像光学系统。采用可调式实体横向剪切分束器,并通过旋转横向剪切分束器的方法获得目标的干涉信息。分析了该方法的成像原理、系统放大率、空间分辨率、光谱分辨率以及景深等。对蚕豆叶表皮切片进行了显微光谱成像实验，获得了可见光波段的光谱复原图像。实验结果表明，该方法具有光通量大、光谱分辨率高的优点，为显微光谱成像提供了一种新方法。
成像系统 光谱学 高光谱显微成像 二次成像 横向剪切分束器 光学学报
2013, 33(12): 1211005
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川 成都 610209
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点，讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理，利用双光栅光闸叠栅条纹的光强调制机理，并结合像横向剪切器和光弹调制的光学特性，建立了单个光栅周期内焦面位移量和输出光能量线性关系。其具有非接触、强实时性和高稳健性的特点，经理论分析和模拟测试，达到纳米量级的检测精度，可以满足投影光刻高精度、实时、非接触焦面测量的要求。
光学测量 焦面检测 叠栅条纹 光弹调制 横向剪切分束器
1 中国科学院西安光学精密机械研究所，西安 710068
2 中国科学院研究生院，北京 100039
提出一种基于新型的分光方法的横向剪切分束器，分析了该分束器结构的分光原理，并对其用于干涉光谱仪中的效果进行了分析计算．该分束器同体积条件下较目前的分束器可以产生十倍以上的剪切量，应用到干涉仪中可以在获得高光谱分辨率的同时不增大仪器的体积和重量．同时，该分束器分光时，无光能返回光源，较Sagnac型分束器对光能的利用率提高了近一倍；相对变形Mach－Zehnder型结构易实现实体化．
干涉光谱仪 横向剪切分束器 高光谱分辨率 高通量 Fourier Transform Spectrometer(FTS) Lateral shearing beam-splitter High resolving power High throughput
