利用电子束直写系统(EBL)和反应离子束刻蚀系统(RIE)制作了两级正交偶极分形槽样品,其中空气槽的宽度为0.12 μm,两级正交偶极分形槽结构中第一级和第二级的臂长分别为1.8 μm 和0.8 μm。样品总体尺寸为35 μm×35 μm,是由20×20个正交偶极排列而成的,每个正交偶极之间的周期为1.5 μm。采用实验和传输矩阵(TMM)理论模拟的方法研究了分形槽结构在近红外和中红外波段的透射曲线,正交偶极分形槽结构在1.7 μm和5.2 μm波长处得到两个增强透射峰,其透射率分别为36%和49%。理论模拟结果与实验测量结果基本一致。证明了两级正交偶极分形结构中自相似性的存在。