中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室, 安徽 合肥 230031
设计了一种紧凑型放电引发非链式氟化氘（DF）脉冲激光器，引入基于闸流管的一级磁脉冲压缩高压快上升沿放电引发回路，形成39.5 kV、100 ns上升沿高压快脉冲。紧凑型张氏放电电极结合紫外(UV)火花预电离，在电极间距为30 mm激活区形成均匀辉光放电，注入能量密度达190 J/L。激光谐振腔选用平平腔结构，激光工作气体采用SF6和D2，其气体配比优化为10:3，此时获得最大能量输出为877 mJ，电光转换效率为1.9 %，脉宽约200 ns，光斑为30 mm×9 mm。
激光器 化学激光 非链式氟化氘激光 磁脉冲压缩开关 张氏电极 工作气体配比
中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽 合肥 230031
248 nm的KrF准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器，设计并完善激光器的机械结构，分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术。通过研究充电电压、工作气体配比和总的工作气体压力对输出激光能量和效率的影响，优化激光器的性能；并对光斑均匀性、光束发散角和能量稳定性进行了测试和计算。该准分子激光器的重复频率为1～50 Hz，最高输出效率达2.0%，单脉冲输出能量最高达360 mJ，当工作电压不低于24 kV时，激光输出能量不稳定度小于1.8%。用该激光器作为光源采用静态相位掩模法在光纤内刻写布拉格光栅，并对刻写结果进行分析和讨论。
准分子激光器 气体配比 输出能量 输出效率 光纤布拉格光栅 excimer laser gas mixture output energy output efficiency Fiber Bragg Gratings 红外与激光工程
2016, 45(1): 0105001
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激光与物质相互作用国家重点实验室，吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院，北京 100049
基于化学反应的非链式脉冲DF激光器是产生35~41 μm波段的有效相干辐射光源，具有存储能量水平高等优点。这些优点使得该激光器倍受中红外领域激光研究者的重视。为了更好地提高非链式脉冲DF激光器的输出性能，研制高能量水平的DF激光器，本文详细介绍了自引发大体积放电技术、混合气体配比技术、循环冷却技术等DF激光器关键技术，重点介绍了自引发大体积放电技术。这几种技术将为研制高性能DF激光器提供理论指导。
非链式DF激光器 自引发体放电 混合气体配比 循环冷却技术 non-chain DF laser self-initiated volume discharge mixture gas ratio recirculating and cooling
