华中科技大学 光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室(筹)激光部,湖北 武汉 430074
以纳米氧化锡(SnO2)粉末为原料,有机溶剂为载体,配置了SnO2浆料,通过激光微熔覆技术在氧化铝基板上制备了SnO2气敏膜。采用X射线衍射(XRD)和场发射扫描式电子显微镜(FE-SEM)分析研究了激光功率对SnO2气敏膜微观结构和气敏特性的影响规律。实验表明,随着激光功率的升高,纳米SnO2的晶粒逐渐长大,气敏膜对乙醇气体的灵敏度逐渐降低;激光微熔覆制备的气敏膜对体积分数为2×10-3乙醇气体的灵敏度最高达到8.6,与传统丝网印刷工艺制备的气敏膜性能相当。
激光技术 气敏膜 激光微熔覆 氧化锡
