长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
湿法氧化工艺是垂直腔面发射激光器(VCSEL) 制备过程中极为关键的技术,但目前氧化工艺的稳定性和可控性仍有待完善。针对氧化过程中的核心因素——氧化温度进行深入研究,通过设置对照实验,探究了氧化温度对氧化速率及氧化孔形状的作用规律,这对精确控制氧化孔的尺寸和形貌并改善器件的电光特性具有重要意义。同时根据AlGaAs氧化反应机理,优化设计了氧化温控曲线,实验结果表明,通过该氧化温控氧化的样品具有非常良好的热稳定性,整体结构可靠性高。
激光器 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 湿法氧化 氧化温度 氧化孔
刘金 1,2,3,4,5王薇茜 1,2,3,4,5程序 1,2,3,4,* *汤海波 1,2,3,4,5
1 北京航空航天大学大型金属构件增材制造国家工程实验室, 北京 100191
2 北京航空航天大学材料科学与工程学院, 北京 100191
3 国防科技工业激光增材制造技术研究应用中心, 北京 100191
4 大型整体金属构件激光直接制造教育部工程研究中心, 北京 100191
5 大型关键金属构件激光直接制造北京市工程技术研究中心, 北京 100191
利用激光增材制造技术制备了沉积态和锻态Ti60A钛合金,并在600~800 ℃温度下进行了氧化实验,研究了不同氧化条件下试样的增重量及显微硬度的变化规律。结果表明,沉积态和锻态Ti60A合金的表面氧化产物主要由TiO2和Al2O3构成,氧化层的生成是由氧向基体内扩散与Al和Ti元素向外扩散的共同作用所致;在相同的实验条件下,与锻态的相比,沉积态Ti60A合金氧化增重量更小,表面氧化层更致密,厚度更小,氧元素的扩散深度更小,高温抗氧化性能更好。
激光技术 激光增材制造 氧化温度 氧化性能 Ti60A 
