1 南京航空航天大学 自动化学院,南京 210016
2 南昌航空大学 自动化学院,南昌 330063
针对衍射光栅分束器,本文提出一种基于平面-浮雕面形调制型光栅实现分束器设计的方法。该方法根据光线追迹原理设计获得光栅相位和面形多项式函数通式,采用遗传算法优化面形多项式函数系数,分别设计了分束比为1:2×2、1:3×3、1:4×4的光栅分束器件;其衍射效率分别为81.83%、81.11%和74.01%;三个器件的光强均匀性分别达到0.02394、0.1838和0.1912,并用Matlab进行了仿真。仿真结果表明,该方法对分束器件设计具有一定的普遍适应性。
微光学 浮雕面形 光栅分束器 光线追迹 micro-optics surface-relief grating splitter ray tracing
