1 南京信息工程大学 信息与控制学院, 江苏 南京 210044
2 南京信息工程大学 大气环境与装备技术协同创新中心, 江苏 南京210044
针对磁头飞行导致液体润滑膜的转移研究以及润滑膜在磁头上的动态变化特性观测问题, 基于改进的垂直物镜的椭圆偏振显微镜, 提出起偏器相移方法的磁头表面润滑膜厚度计算模型, 实现了润滑膜厚度的测量。实验以非极性润滑剂Z03覆盖的磁头为样品对椭圆偏振显微镜进行标定, 以极性润滑剂Zdol4000作为样品, 对其在磁头表面的去湿现象进行观察。该方法测量精度可达0.37 nm, 分辨力约0.36 μm, 可为其他纳米级薄膜观测提供一定的技术参考。
光学测量 润滑膜观测 椭圆偏振显微镜 起偏器相移 optical measurement visualization of lubricant films ellipsometric microscope phase shift method
