1 浙江工业大学 特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室，杭州 310014
2 浙江工业大学 激光加工技术工程研究中心，杭州 310014
3 浙江工业大学 理学院，杭州 310014
为了实现液晶玻璃基板的可控断裂切割，提出了一种液晶玻璃基板激光切割的新方法。采用Nd∶YAG 激光在液晶玻璃基板上预置初始裂纹，用CO2激光作为热源对其进行加热，并用Ar气进行冷却。分析了激光光斑尺寸和液晶玻璃基板厚度对切割的影响，并与传统机械切割进行了对比。用扫描电子显微镜检测了激光切割后切割表面及断面形貌。结果表明，运用机械切割，其基体内存在大量的微裂纹，而基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割表面光滑平直、无毛刺、基体内无微裂纹存在，切割断面影响区小于20μm，优越性明显高于机械切割。
激光技术 激光切割 裂纹控制法 液晶玻璃基板 裂纹扩展 laser technique laser cutting crack controlled method liquid crystal display glass substrate crack propagation
1 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室， 浙江 杭州 310014
2 浙江工业大学激光加工技术工程研究中心， 浙江 杭州 310014
3 浙江工业大学理学院， 浙江 杭州 310014
激光切割液晶玻璃基板是一个复杂的光致热过程，在整个切割过程中温度起着至关重要的作用。运用可控断裂激光切割技术断裂液晶玻璃基板，热应力用于诱导裂纹并使材料沿着切割路径扩展开裂。为了给实际激光热应力切割以指导，减少切割过程中的盲目性，提高激光热应力切割的质量，提出了一种激光切割液晶玻璃基板的数值模拟方法。利用有限元软件ANSYS进行温度场数值计算，建立了激光切割液晶玻璃基板温度场的有限元模型。研究了激光功率和光斑直径对激光切割过程中温度场的影响，得到了温度分布与激光功率、光斑直径的关系。用数值计算结果指导切割，获得了良好的切割效果。
激光技术 激光切割 温度场 液晶玻璃基板 数值模拟
