1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 10033
2 中国科学院 研究生院,北京 100039
为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率。测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08 nm,光源信号抖动范围<5%,光源稳定性好。反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60 nm的Mo/Si多层膜反射镜,相应反射率分别为41.9%和22.6%,半宽度为0.56和1.70 nm。同时还用WYKO测量得到13.9和19.6 nm Mo/Si多层膜的表面粗糙度分别为0.52和0.55 nm。
Mo/Si多层膜反射镜 反射率测量 表面粗糙度 极紫外光源 激光等离子体光源 Mo/Si multilayer mirror reflectivity surface roughness Extreme Ultraviolet(EUV) source Laser Produced Plasmas(LPP) source
中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
基于Xe的惰性和在13～14 nm波段高的辐射强度,Xe被认为是极紫外投影光刻(EUVL)潜在的靶材,为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源.详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13.4 nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况.实验结果表明,Xe在13.4 nm的最高转换效率可以达到0.75%/2πsr/2%bw,辐射稳定性±4%(1σ),在激光打靶105次后无碎屑产生.
Xe液体微滴喷射靶 激光等离子体光源 极紫外投影光刻
1 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
2 中国科学院,研究生院,北京,100039
3 吉林大学,原子与分子物理研究所,吉林,长春,130026
实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线-极紫外辐射.利用McPHERSON 247型掠入射软X射线-真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20 nm波段水靶激光等离子体光源的光谱.实验表明,在11～20 nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生.所用单色仪光谱分辨率△λ≤0.075 nm,波长扫描间隔0.5 nm.另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸?⒐讨形露戎杞刀岜奈侍?有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题.
激光等离子体光源 光谱测量 软X射线 水靶
