针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法。给出了利用误差扩散法设计的色分离光栅光束采样光栅(CSG-BSG)集成元件编码掩模,模拟计算了经部分相干成像系统后的空间像光强分布,并与理想的集成元件面形进行了比较。结果表明,校正后均方差为7.5%,体积偏差为10.2%。
集成光学 误差扩散 灰阶编码 色分离光栅(CSG) 光束采样光栅(BSG) 惯性约束聚变驱动器
1 四川大学,物理学院,四川,成都,610064
2 中国科学院光电技术研究所,四川,成都610209
以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件.此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点.用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果.
微光学 灰阶编码掩模 误差扩散法 边缘增强法 微透镜
乐山师范学院物理与电子信息科学系,乐山,614004
设计了消色差的折/衍混合微光学元件的灰阶掩模,该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正,并给出了模拟计算的的结果.
混合光学 灰阶编码 消色差 hybrid optics gray-tone coding achromaticity
1 四川大学物理系, 成都 610064
2 内江教育学院, 内江 641002
3 Central Microstructure Facility, Rutherford Appleton Laboratory, Chilton, Didcot, OX11 0QX, UK
4 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209
提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法, 并阐述了新方法的特点。 讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系, 给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果, 校正后的综合面积偏差比校正前减少了10%。
光学邻近校正 灰阶编码掩模 光刻
