为了提高刻蚀的均匀性, 对400mm反应离子刻蚀（RIE）腔室建立了气体流动的连续流体模型和热传递模型, 研究了反应腔室内压强、流速和温度分布。冷却板恒温285K时, 依次改变入口流量和出口压强, 分别分析了腔室内部基片晶圆附近的流速、压强、温度的分布; 依次改变极板间距离（30mm～60mm）、进气口直径（300mm～620mm）、抽气口直径（50mm～250mm）, 分析了反应腔室内气流和温度分布。结果表明, 压强分布呈现出边缘低中心高的特征, 流速呈现边缘高且中心低的特征, 且在小流量时压强的均匀性较好; 压强分布的均匀性随腔室极板间距离增加而有所提高, 且随腔室气体出口面积减小与进口面积增加也有所提高; 基片晶圆上方附近处温度场大面均匀、稳定, 几乎不受入口流量波动变化的影响, 热稳定性良好。该研究对大口径RIE腔室结构设计改进及对大口径反应离子刻蚀工艺控制具有重要意义。

由于北京城市中心区冬季供暖、 汽车尾气、 工业生产等因素的影响, 以及冬季植被覆盖减少导致地表热惯量降低, 致使北京市冬季地表热场与其他季节差异明显。 冬季城市热场分布直接影响冬季大气颗粒物等污染物的扩散速度, 因此, 研究热场分布对了解城市热场在大气颗粒物污染中的贡献具有重要的意义。 首先利用MODTRAN大气辐射传输模型计算大气透过率、 大气上行辐射与大气下行辐射三个关键参数, 通过构建查找表解算热红外波段辐射传输方程。 使用数据模拟的手段评价了该方法的精度, 结果表明, 当比辐射率和水汽分别在±0.005和±0.6的误差范围内波动时, 温度反演的误差分别小于0.348和2.117 K, 表明该方法可达到较高的反演精度。 选择长时间序列Landsat TM、 ETM+数据, 进行地表温度反演, 得到1985年—2015年北京市的地表温度。 基于反演的地表温度分析了北京市热场的时空分布。 结果表明, 北京冬季热场分布在空间上可分为四个层次: 北京市二环内温度较高、 二环到五环内低温环状特征明显、 外围郊区温度高以及北京西部的山区温度最低; 随着近30年来北京市的快速发展, 热场分布在长时间序列中发生了明显的改变: 随着北京城市的不断扩张, 环状低温区域也不断扩大, 从三环扩展到六环; 城市二环以内热岛效应随时间推移而增强, 且分布范围扩大。