江南大学 电子工程系 物联网技术应用教育部工程研究中心， 江苏 无锡 214122
随着集成电路特征尺寸不断缩小，光刻系统分辨率与特征尺寸之间不匹配导致晶圆成像结果出现不必要的形状变形。这些会产生形状变形的区域就是俗称的光刻热点。为提高集成电路生产的良品率，在掩模板制造之前，需要对晶圆成像结果进行光刻热点检测。提出一种基于深度学习的热点检测方法，通过将挤压和激励网络（SENet）输入预先训练的YOLOv3模型来提高光刻热点检测的精确率和召回率。实验结果表明，在2012国际计算机辅助设计会议（ICCAD 2012）数据集上，所提方法优于其他基于深度或具有代表性的基于机器学习的方法，最终的平均召回率为1.00，精确率为0.45，F1分数为0.62。
光刻 热点 深度学习 YOLOv3 挤压和激励网络 光学学报
2023, 43(23): 2315001
1 华中科技大学智能制造装备与技术全国重点实验室，湖北 武汉 430074
2 湖北光谷实验室，湖北 武汉 430074
光刻热点检测是实现集成电路可制造性设计，保障集成电路芯片最终良率的关键。鉴于传统基于深度学习的光刻热点检测方法难以满足先进集成电路制造对检测精度的要求，提出了一种基于改进Yolov5s的检测算法，用于光刻版图热点缺陷的精确检测。通过将坐标注意力机制引入骨干网络，提高了Yolov5s模型对版图图形区域的关注度，进而极大地改善了基于Yolov5s的检测算法的光刻热点检测性能。与此同时，采用Sigmoid线性单元激活函数进一步完善整个神经网络的非线性表达，利用Scylla交并比损失函数更快速地定量评估边界框回归损失，提高了热点检测算法的收敛速度和精度。将ICCAD（The International Conference on Computer-Aided Design）2012竞赛基准、经光学邻近校正优化后的光刻图形作为数据集对所提算法开展性能测试实验，验证了热点检测算法的优异检测精度。实验结果表明，该算法的平均准确率、平均召回率、平均F1-score和均值平均精度分别达到97.7%、98.0%、97.8%和98.4%，显著优于其他光刻热点检测算法，展示了良好的应用前景。
光刻热点检测 改进Yolov5s 检测精度 坐标注意力机制 Sigmoid线性单元激活函数 Scylla交并比损失函数 激光与光电子学进展
2023, 60(24): 2422001
1 燕山大学河北省水体重金属深度修复与资源利用重点实验室,秦皇岛 066004
2 燕山大学环境与化学工程学院,秦皇岛 066004
3 燕山大学建筑工程与力学学院,秦皇岛 066004
与普通硅酸盐水泥相比,粉煤灰基地质聚合物可大幅减少生产过程中的碳排放,提供了开发新型绿色高附加值产品的新途径。近10年来,粉煤灰基地质聚合物领域发文近6 000篇,有必要进行基于科学计量学方法的定量分析,为粉煤灰基地质聚合物研究及粉煤灰的绿色综合利用提供参考。本文检索Web of Science核心合集及中国知网学术文献总库中文献,基于CiteSpace分析发文群体和关键词,构建共现网络,分析研究趋势和热点。结果表明: 2013-2023年粉煤灰基地质聚合物的研究热度持续保持; 中、英文文献核心作者发文频次占比均超过5%,英文文献发文机构间合作更紧密; 关键词共现图谱以及聚类和突现分析结果说明相关研究集中于力学性能和吸附性能,且后者逐渐成为近年的研究热点; 粉煤灰基地质聚合物及其复合材料捕集CO2气体和去除水体污染物的性能和机制仍为应用的热点课题之一。反应体系的化学组成是粉煤灰基地质聚合物力学性能和吸附性能区别于其他地质聚合物的主要因素,利用化学组成协同调控力学性能与吸附性能的研究是今后的一个主要发展趋势。
地质聚合物 粉煤灰 研究趋势 研究热点 力学性能 吸附性能 geopolymer fly ash research trend research hotspot mechanical property adsorption property CiteSpace CiteSpace
中国原子能科学研究院 核安全研究所北京 102413
康普顿成像技术是近年新兴的一种辐射热点定位技术，其无需准直，视野广，效率高，应用前景广阔。针对核设施热点定位需求，采用两块像素型碲锌镉（Cadmium Zinc Telluride，CZT）探测器，基于专用读出芯片（Application Specific Integrated Circuit，ASIC）的读出电子学系统，结合列表模式期望最大化极大似然（List-mode Maximum Likelihood Expectation Maximization，LM-MLEM）图像重建算法研制了一套双层分离式康普顿相机。采用137Cs点源对该系统的成像性能开展了实验测试，并对探测器层间距、吸收层面积等成像性能影响参数展开了优化研究，最后通过移动探测器的测量位置实现了对放射源的远场三维成像功能测试。该系统优势在于其结构可调性，探测器成本低，读出电子学相对简单，成像视野范围宽于传统γ相机，测试结果表明：系统的能量分辨率约为3%（FWHM@662 keV），能确定5 m外的137Cs点源三维位置信息，优化后的系统前锥角θ和侧向方位角φ的角分辨率约为10°。
康普顿相机 热点成像 碲锌镉探测器 Compton camera Hot spot imaging CdZnTe detector
1 广州开放大学(广州市广播电视大学)数字化服务中心, 广东 广州 510000
2 暨南大学信息科学技术学院, 广东 广州 510000
微博文本数据高维度、同义、多义特征明显, 传统基于向量空间模型 (VSM)联合 K-均值的热点话题发现方法存在准确率低, 计算复杂, 聚类中心难以确定等问题。提出一种相关向量机 (RVM)优化 VSM的微博文本向量化方法, 首先利用 RVM的自适应特征选择能力对 VSM特征向量进行降维, 然后利用主成分分析 (PCA)方法确定 K-均值算法的初始聚类中心, 进而采用 K-均值算法得到聚类结果, 最后根据微博转发、评论和高影响力用户数量定义热度指数, 热度指数最大的话题即为当前热点话题。采用实际微博文本数据集开展实验, 结果表明所提方法相对于 2种传统方法的准确率分别提升 7.3%和 1.1%, 实时性分别提升 45%和 53%。
热点话题发现 向量空间模型 话题聚类 数据降维 微博 hot topic detection Vector Space Model topic clustering data dimensionality reduction Micro-blog 太赫兹科学与电子信息学报
2023, 21(3): 378
1 国家自然科学基金委员会信息科学部，北京 100085
2 国防科技大学理学院，湖南 长沙 410073
3 杭州电子科技大学微电子研究院，浙江 杭州 310018
激光自发明以来经历了飞速的发展，带动物理、化学、生物、信息等众多相关领域取得了重大突破，在基础科学和应用技术研究中占据了至关重要的地位。本文从国家自然科学基金的视角，结合2017—2021年国家自然科学基金重点项目、重大项目、国家重大科研仪器研制项目、面上项目和青年科学基金项目的资助情况，对各立项项目的题目和关键词进行热词分析，梳理了我国激光科学技术的发展现状和挑战，并在此基础上对需要进一步深入研究和探讨的问题进行了展望。
激光技术 热词分析 前沿热点 研究展望
武汉科技大学, 省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室, 武汉 430081
耐火材料是高温工业重要的支撑材料, 随着相关技术的不断发展, 已经积累了海量的文献。然而使用传统方法阅读如此众多的文献存在较大的困难, 进一步对其进行分析归纳则难度更大, 因而以往的做法常是凭借经验选择代表性文献进行总结分析。但该方法难以对研究动态有全面、定量、深入的分析与归纳, 不利于系统地把握发展现状及趋势, 已经逐渐难以适应科学研究的未来需要。本工作从知识图谱视角对耐火材料研究的现状进行归纳和总结, 对中国知网和WOS(Web of Science)核心数据库中的众多文献进行分析, 分别从中国和世界范围介绍了耐火材料领域研究的整体发展脉络, 并以含碳耐火材料为例介绍了领域内的研究热点与趋势, 最后对耐火材料及知识图谱的未来发展作出了展望。
知识图谱 耐火材料 发展脉络 研究热点 knowledge graph refractory development venation research hotspot VOSviewer VOSviewer CiteSpace CiteSpace
中国科学院上海光学精密机械研究所信息管理中心， 上海 201800
以Web of Science数据库中1990—2020年光成像在生物医药领域6 564篇相关学术论文和110篇高被引论文为研究对象，运用统计学和文献计量学软件CiteSpace对其文献分布特征和共被引作者、关键词共现等进行分析。结果表明: 光声成像、纳米颗粒、光活检、光学相干层析成像、深度组织成像、细胞成像、探针、癌症诊治、药物传递、碳纳米管等是该领域的研究热点。近红外-Ⅱ光谱区内荧光成像、半导体聚合物纳米颗粒、光声成像以及光活检、肿瘤诊治成为当前生物医学光成像方面的前沿主题。深部组织光学成像、光治疗和光活检的有机半导体材料、光声成像造影剂以及二维钛纳米片在多模态成像引导的癌症治疗等方面显得尤为突出。
光成像 研究热点 前沿主题 生物医药 optical imaging research hotspots CiteSpace CiteSpace frontier topics biomedicine
