作者单位
摘要
江南大学理学院 江苏省轻工光电工程技术研究中心, 江苏 无锡 214122
为实现45°入射情况下K9基底上双波段截止分色的特性(截止带波长0.5~0.68 μm、0.73~0.79 μm, 通带波长0.83~0.87 μm), 采用F-P型的带通滤光片膜系结构为初始结构, 与常规设计理念相比有效减少了膜层的数量, 薄膜的高折材料采用TiO2, 低折材料采用SiO2, 以实现双波段截止的目的。膜层的设计层数为23层, 总厚度为2.278 μm, 借助电子束蒸发物理气相沉积法实现了镀制, 利用分光光度计对镀制样品的透过率进行评估。测试结果显示, 截止区(0.5~0.68 μm和0.73~0.79 μm)平均截止深度分别达到了12.57%和20.39%, 通带0.83~0.87 μm波段内的平均透过率达到了91.35%, 样品测试曲线与设计相比, “蓝移”将近10 nm。薄膜样品基本实现了设计目标, 具有双波段截止、高通带透过率的特性。在环境测试中: 薄膜表现出显著的稳定性, 膜层间匹配度适宜。该双波段截止分色滤光片能够应用在一些极端的情况下。
光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 滤光片 optical thin film electron beam physical vapor deposition(EBPVD) filter 
发光学报
2017, 38(12): 1675
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 江南大学 理学院, 江苏 无锡 214122
以ZF6为基底, 采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为04~08 μm的宽谱带可见光区增透膜。薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料, 分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量, 测试结果表明: 薄膜平均透过率达9815%, 实际样品的光学特性与设计结果基本相符, 具有宽带的增透特性, 减少了表面剩余反射。机械强度与环境测试表明: 制备的薄膜具有良好的稳定性和牢固度, 可以应用于可靠性要求较高的光学系统中。
光学薄膜 增透膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率 optical thin film anti-reflection coating Electron Beam Physical Vapor Deposition(EBPVD) transmittance 
中国光学
2013, 6(4): 551
作者单位
摘要
江南大学理学院, 江苏 无锡 214122
以 ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜, 透射和反射比为 50/50, 工作波长可达到 3~13 μm, 工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法, 薄膜材料仅含有 ZnSe和 Ge。利用了 Spectrum GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量, 测试结果表明该分束镜的平均透过率约为 50%, 具有宽带的分束特性, 与设计结果基本相符。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该分束器可以应用于可靠性要求比较高的环境中。
分束镜 电子束蒸发物理气相沉积 硒化锌  Beamsplitter Electron beam physical vapor deposition(EBPVD) Zinc selennide(ZnSe) Germanium(Ge) 
红外技术
2011, 33(12): 695

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