高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数, 气体中残余水汽含量即使是ppbv量级也会对产品质量产生影响。 气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线, 在该区域对水汽含量进行检测十分必要。 宽调谐范围、 高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展, 推动了该区域红外光谱检测技术的发展。 首次在中红外波段, 采用5.2 μm可调谐量子级联激光器, 基于连续光腔衰荡光谱技术建立了痕量水汽的检测装置, 并开展了痕量水汽检测实验。 通过阿伦方差分析系统噪声水平, 确定了光腔衰荡信号最优平均次数为602次。 根据HITRAN数据库, 模拟实验条件下1 905～1 925 cm-1范围内水汽的吸收截面, 选取最佳的检测谱线位置。 在常压和室温下, 对1 918 cm-1附近的水汽吸收光谱进行测量, 测定高纯氮气中的痕量水汽浓度, 检测结果与标称值一致。 在腔镜反射率为99.93%时水汽的检测灵敏度达到24.8 ppbv。 分析结果表明, 中红外高灵敏痕量气体检测技术在工业监测、 环境检测以及医学诊断等领域具有很好的应用前景。