针对傅里叶变换分析法中的离散过程理论分析存在的不足，对CCD采样过程中影响相位测量精度的主要因素进行了详细分析和仿真研究。讨论了CCD像元尺寸在采样过程中对傅里叶变换频谱的影响，理论分析了傅里叶变换法中CCD像元的尺寸、随机噪声和量化误差对相位测量精度的影响。计算机仿真和实验结果均表明，用傅里叶变换分析法对具有不同密度的干涉图进行分析时，CCD像元尺寸对采样后输出的光强信号的调制度、信噪比和频谱展宽均有影响，像元尺寸越大，采样后条纹信号的调制度和信噪比越低，其频谱展宽越大，经相位解算后得到的相位测量误差越大。以相位测量误差的RMS值大于0.05λ作为判断基准，信号的信噪比约为20，为扩展傅里叶变换分析法的动态测量范围提供了理论基础。

基于数字叠栅移相干涉原理，分析了CCD像元尺寸、随机噪声和量化误差对采样后干涉条纹和合成叠栅条纹对比度的影响，并就干涉条纹频率对叠栅移相干涉相位测量精度的影响进行了理论分析和仿真研究。结果表明，随着干涉条纹空间频率的增大，CCD的采样过程、随机噪声和量化噪声会影响叠栅条纹信号的对比度和信噪比，并通过相位解算过程直接影响数字叠栅移相干涉的相位测量精度。以相位测量精度为π/50(折合光程差精度为λ/100）作为判断标准，对应可探测干涉条纹的最大空间频率为0.45 λ/pixel，为后续数字叠栅移相干涉测量范围的研究提供了定量理论依据。