1 华中科技大学 武汉光电国家实验室，武汉 430074
2 海军工程大学，武汉 430033
为探讨采用飞秒激光直接刻写样品取代传统光刻掩膜版方式来实现微机电系统(MEMS)加工短流程工艺的可行性，采用中心波长为800nm、脉宽为50fs的激光对100硅片(薄膜为350nm～500nm厚的氮化硅)进行实验，分析了飞秒激光材料加工特性。分析和实验结果表明，飞秒激光比纳秒、皮秒激光更适用于短流程工艺。MEMS加工短流程工艺减少了加工流程，缩短了加工周期。通过对激光脉冲能量和平台移动速度的控制可实现精确微加工。
激光技术 短流程工艺 飞秒激光 微机电系统 微加工 laser technique shortened procedure femtosecond laser micro-electromechanical systems microfabrication
北京工业大学激光工程研究院国家产学研激光技术中心, 北京 100124
通过对激光切割取代冲孔和修边模具，车身**过程中激光焊接取代电阻点焊，以及车身不同部位不同厚度覆盖件的激光焊接的研究，展示了激光制造技术在汽车制造领域中的优势。 介绍了激光宽带熔覆技术，与传统粉末冶金烧结工艺相对比，该激光制造短流程工艺不仅能够提高生产率、缩短制造工艺流程，而且能够降低成本、节约能源。
激光技术 短流程 激光拼焊 激光熔覆
