1 西安交通大学电子与信息工程学院, 陕西 西安 710049
2 西北核技术研究所, 陕西 西安 710024
利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法，制备了高纵横比硅基狭槽。首先利用透镜聚焦飞秒激光至硅片表面，在硅内部诱导结构变化；再结合氢氟酸(HF)溶液选择性腐蚀去除结构变化区域，从而制备出高纵横比硅基狭槽；最后，通过光学显微镜和扫描电子显微镜对狭槽形貌进行表征，研究了狭槽纵横比对激光加工条件如激光功率、扫描速率和数值孔径的依赖特性。结果表明，激光加工条件对于制备高纵横比硅基狭槽存在最优选择。通过优化激光加工参数，可制备出深度为291 μm，纵横比为25.3 的硅基狭槽。相对于显微物镜，透镜的工作距离较大，加工过程可以避免镜片污染，且具有成本低，通光孔径大等优点。
超快光学 飞秒激光 硅基狭槽 湿法腐蚀 透镜
