南京工程高等职业学校电子工程系， 江苏 南京 211135
以NEL-A系列直流激励轴快流CO2激光器为例，研究谐振腔非正常放电问题。通过化学实验的方法验证了谐振腔内主要腐蚀物为碱式碳酸铜，运用物理和化学理论分析了腔内碱式碳酸铜的成因及其影响谐振腔放电的微观机理。实验结果证明，腔内主要腐蚀物碱式碳酸铜是造成激光器谐振腔湍流放电功率下降的主要原因。该结论可作为直流激励轴快流CO2激光器谐振腔和气体单元改进设计的参考，同时也为设备现场维护提供了一条新的途径。
激光技术 CO2激光器 腐蚀 碱式碳酸铜 湍流放电 激光与光电子学进展
2012, 49(2): 021403
