1 中国科学院物理研究所光物理重点实验室， 北京 100190
2 四川大学原子与分子物理研究所， 四川 成都 610065
在飞秒太瓦激光装置中，高效率的压缩光栅是获得高峰值功率飞秒激光输出的最重要光学元件之一。虽然光栅安装在无油的真空室内，但当光栅受到强激光的辐照时，真空中残存的气态有机物会被碳化并沉积在光栅表面，使得光栅受到“污染”，衍射效率大大降低。激光辐照累积的热量会导致光栅结构发生变化，甚至会造成光栅的永久损伤。为此发展了用等离子体来清洗光栅表面污染层的方法，实验结果表明该方法非常有效地清洗了光栅表面的污染，提高了衍射效率并避免了光栅的损伤。该方法简单，易于操作，可以安装在压缩光栅真空室上，在不影响真空室里面的光学元件情况下可以实现实时清洗。
光栅 压缩光栅 衍射效率 等离子体清洗 飞秒太瓦激光
1 河南大学物理与电子学院, 开封 475004
2 日本综合研究大学院大学分子科学研究所, 冈崎 444-8585
3 黄河水利职业技术学院自动化工程系, 开封 475003
采用真空蒸镀法在硅片表面形成了一层具有表面增强拉曼活性的金岛膜。拉曼光谱发现该金岛膜表面存在非晶态碳的污染物。通过比较不同清洗方法的拉曼光谱可以证明, 用氧气等离子体清洗金岛膜可有效去除金表面的杂质。金岛膜的表面增强拉曼活性在清洗前后没有发生明显变化。
金岛膜 表面增强拉曼光谱 等离子体清洗 除杂 gold island films SERS plasma cleaning removing contaminants
1 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054
2 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗.通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果.研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片,可以先采用低能量的CO2激光进行大面积清洗,再用真空等离子体进行精细清洗.光学显微图像表明:清洗后的基片表面的油珠被清除干净;水滴接触角由63°下降到4°;在400nm附近,基片透过率由92.3%上升到93.3%;损伤阈值由3.77 J/cm2上升到5.09J/cm2.
石英基片 硅油脂 激光清洗 等离子体清洗 激光损伤阈值 强激光与粒子束
2007, 19(10): 1739
