长春理工大学光电工程学院， 吉林 长春 130022
可见与红外的制导系统作为一种制导手段，在**领域得到了越来越广泛的重视。为了满足红外光学仪器的使用要求，根据薄膜光学理论对可见红外3个波段进行了膜系设计；对几种常用的可见与红外材料进行对比，分别用硫化锌和氟化镱作为镀膜材料。通过电子束加热蒸发的方式，配合离子辅助淀积技术，在锗基底上制备了多层介质膜，在450~950 nm波段平均反射率约为91%，3.7~4.8 μm和7.5~9.0 μm红外波段平均透射率约86%。该薄膜将多个波段的要求集为一体，可使光学仪器的结构得到简化。测试结果表明，此薄膜各项指标满足使用要求。
薄膜 红外滤光膜 电子束蒸发 离子辅助沉积
