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相同关键词【线性探测器】论文列表

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X射线扫描器——迅速制作纳米尺度粗糙度地图的新装置

作者单位

摘要

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800

研制出一种非接触迅速测量平坦表面粗糙度分布的新装置。它的工作原理基于超光滑表面反射X射线强度与粗糙度间的密切关系。这种效应用于获得平坦表面粗糙度空间分布的二维地图,其均方根高度达1nm量级。装置的关键部件是一维精密机械扫描台、带真空光路的抛物面准直器和恒温冷却X射线线形列阵探测器。

粗糙度 X射线反射扫描线性探测器

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激光与光电子学进展

2002, 39(12): 51

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