1 中国科学院上海应用物理研究所, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 中国科学院上海高等研究院, 上海 201210
目前的商用自准直仪并不满足纳米光学测量仪(NOM)利用细光束进行测量的要求, 大口径细光束模式下的自准直测量系统存在各种误差。为了满足自准直测量系统的高精度要求, 根据自准直测量原理, 对大口径细光束自准直测量系统中CCD阵面与f-theta透镜焦平面不重合引入的误差进行了归纳分析, 并通过相关实验对误差的线性关系进行了验证, 结果证明理论计算与实验结果具有良好的一致性。
自准直系统 细光束 误差分析 实验研究 线性关系
1 中国科学院上海应用物理研究所, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 重庆理工大学, 重庆 400054
为了满足自准直系统的高精度要求, 同时扩展其适用范围, 以便更好地应用于科学研究, 在光学自准直原理的基础上, 针对大口径细光束的自准直系统进行研究, 并对其误差源做了深入分析。对入射光束发散度引入的误差、CCD离焦误差、光学元件姿态引入的误差、反射镜平面度误差、准直系统瞄准误差以及原理误差这六种主要的误差源做了定量分析, 同时对外界环境条件引入的误差进行了定性分析。通过对上述误差的定量与定性分析, 可以直观地观察各误差源对系统精度产生的影响, 为后续大口径细光束自准直系统的设计提供了重要的理论支持。
自准直系统 误差源分析 细光束 发散度 精度 autocollimating system error source analysis thin beam divergence precision
