1 国防科技大学光电科学与工程学院, 湖南 长沙 410073
2 解放军信息工程大学理学院, 河南 郑州 450001
3 国防科技大学计算机学院, 湖南 长沙 410073
研究了用于光互连的聚硅氧烷多模光波导直接弯曲时弯曲损耗与圆弧曲率半径的关系。用Marcuse的直波导近似法理论计算了其弯曲损耗，理论计算表明弯曲损耗随模阶数的增加而变大，随半径的减少而变大；光在波导中传输时，总弯曲损耗出现阶跃式变化，并且曲率半径大于4 mm时，波导的弯曲损耗小于1 dB/cm。用BeamPROP仿真软件仿真了5、10、20 mm三种曲率半径下的传输光场情况。利用数字化散射法测量了其弯曲损耗，实验结果显示曲率半径在5~6 mm时弯曲损耗值在0.55~0.8 dB/cm之间，考虑所制备的聚硅氧烷直波导固有的传输损耗，实验值与理论值基本相符。
光纤光学 光互连 聚硅氧烷波导 弯曲损耗 数字化散射法
1 国防科学技术大学光电科学与工程学院, 湖南 长沙 410073
2 解放军信息工程大学理学院, 河南 郑州 450001
3 国防科学技术大学计算机学院, 湖南 长沙 410073
采用含氢聚硅氧烷(HPSO)和二乙烯基苯(DVB)的交联体掺入聚二甲基硅氧烷（PDMS）中，使改性的聚二甲基硅氧烷（M-PDMS）折射率发生1%~1.8%的改变。M-PDMS及PDMS薄膜具有良好的光透射率和低的传输损耗，是低成本制备用于高速芯片间光互连聚合物光波导的理想材料。采用软成型和图案转移法，用M-PDMS及PDMS分别作波导的芯层和包层制备了截面为50 μm×50 μm，长度大于20 cm的聚硅氧烷多模光波导。用数字化散射法测量了所制备波导的传输损耗，测得输入光波长为633 nm时平均传输损耗为0.137 dB/cm。
薄膜 芯片间光互连 聚硅氧烷波导 交联体 图案转移法 传输损耗
