由于KDP（KH2PO4）晶体硬度低的特性，在利用单点金刚石切削技术对其进行加工的过程中，所使用的真空吸盘夹具会在其加工表面产生周期性波纹。周期性波纹在强激光非线性效应的作用下，不但会严重影响输出光束的质量，甚至还会破坏光学元件。因此，利用功率谱密度检测KDP晶体的加工表面，分析误差源，并指导加工工艺的改进。最后得出结论：在利用单点金刚石切削技术加工KDP晶体时，应根据不同的加工方式选择不同形状的真空吸槽作为夹具，尽量避免在垂直切削方向上使用真空吸槽吸附晶体，以减小吸槽的吸附力对晶体加工表面的影响。

为了研究激光辐照材料引起表面波纹现象及原因，采用钕玻璃激光器产生的脉冲激光来冲击黑漆作为吸收层的AZ91镁合金试样。激光冲击后采用表面三维轮廓仪对试样冲击区域表面进行测量，结果得到在冲击区域存在波纹分布现象；观测并描绘了表面形貌及表面波纹的分布情况，并分析了材料表面波纹特性与激光能量的关系；得出波纹特性受激光能量影响。最后从等离子体对试样的作用和等离子体内部相干受激光散射机制引起的光栅效应两个方面出发，讨论了热传导、热辐射以及激光照射等因素在试样表面产生热微扰动现象的耦合过程，进而从表面热微扰动的非平衡状态探讨了表面波纹的形成机理。

介绍了利用KrF准分子脉冲激光对氢化非晶碳化硅(a-SiC∶H)薄膜进行激光退火以实现薄膜的结晶化。利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)在单晶Si(100)衬底上制备a-SiC∶H薄膜, 再用不同能量密度的激光对薄膜样品进行退火。分析表明, 选用合适能量密度的激光退火能够实现a-SiC∶H薄膜的结晶化, 且结晶颗粒大小随着入射激光能量密度的增加而增大; 显微图表明当入射能量密度超过200 mJ/cm2时, 薄膜表面出现由热弹性波引起的表面波纹现象, a-SiC∶H薄膜结晶过程为液相结晶; 傅里叶红外谱(FTIR)表明随着入射能量密度增加, 薄膜中氢含量降低, Si-C峰增强并且峰位出现蓝移, 薄膜的结晶度提高。

叙述了激光与材料相互作用过程中引起相干受激光散射的机制,以及形成材料表面波纹的特性。在激光波长1.06 μm、能量15 mJ、光斑直径2 mm、脉冲半峰全宽约10 ns和入射方向为布儒斯特角的条件下,进行了脉冲激光辐照硅材料形成表面波纹的实验研究。在脉冲激光辐照硅材料表面功率密度略大于材料损伤阈值的条件下,发现了硅材料表面形成的平行等间距直线条纹结构。用光学显微镜和原子力显微镜分别测量了被辐照硅材料表面的波纹形貌特征。在假设硅材料表面波纹的产生与声波在材料中的传播速度有关的条件下,由声波传播速度和激光辐照硅材料的脉冲宽度较好地解释了材料表面形成条纹的宽度,并认为在形成表面波纹的过程中,热应力起主要作用。

用光学显微镜分别测量了1.06 μm激光辐照硅、锗材料形成表面波纹的形貌特征.在激光辐照材料形成初始表面波纹之后,后继激光对最终波纹的增长起正反馈作用.当激光功率密度略大于材料损伤阈值时,材料表面呈现周期性的波纹结构;当激光功率密度远大于材料损伤阈值时,材料熔融区内出现无规则的随机分布波纹.激光辐照硅、锗材料产生的波纹结构与材料的性能、表面状况和实验中使用的激光参数密切相关.同时,分析了表面波纹结构对激光光束传输特性,以及激光与材料相互作用产生破坏效应的影响.