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相同关键词【表面空间波长】论文列表

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仪器，测量与计量

光学轮廓仪对光学元件表面空间波长回应的研究

徐德衍沈卫星林尊琪

作者单位

摘要

中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800

在分析光学轮廓仪的空间分辨率和带限功率谱密度函数的基础上,用所测不同样品的大量数据研究了光学元件表面粗糙度测量与光学轮廓仪对表面空间波长的带限回应关系。对由光学轮廓仪不同带宽限制内测量元件表面粗糙度有不同回应所引起不同偏差的解决办法提出了几点建议。

表面空间波长光学轮廓仪带限回应

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光学学报

1998, 18(12): 1721

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