作者单位
摘要
中国科学技术大学物理系, 合肥 230026
研究了一种新型的有表面凹槽的亚波长金属光栅结构, 通过改变表面凹槽填充物的折射率, 可调控该结构的远场透射效率, 在光学探测、生物传感等方面具有应用前景;结合金属波导理论, 提出一种基于亚波长金属光栅波导结构的新型超分辨光刻方案, 入射光波长为436 nm时, 最高刻写分辨率可达34 nm。
表面等离子体 亚波长金属周期结构 远场透过增强 光刻 
激光与光电子学进展
2007, 44(2): 17

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