中国工程物理研究院 应用电子学研究所，绵阳 621900
为了解决?500 mm以上大口径光束波前的实时测量问题，设计了一种波前测量系统，即透镜阵列测量仪，其最大优点是避免了现有的H－S波前传感器所面临的大口径缩束器的加工难题。介绍了该测量系统的组成结构及其测量原理，分析了测量系统在设计中的参数选择，并根据具体的系统参数讨论了测量系统的检测性能。在此基础上，利用数值模拟对?1200mm口径光束进行了波前测量的仿真实验研究，分析了测量过程中系统标定对透镜阵列测量仪的作用。仿真实验表明，透镜阵列测量仪能够实现大口径光束的波前探测。
仪器测量与计量 透镜阵列测量仪 实验仿真 光束波面 instrumentation measurement and metrology lens-array measurement appearance experimental simulation beam wave-front
