中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
选取纯度较高的1100铝棒作为加工模芯的原材料，利用金刚石车床精加工出表面粗糙度均方根值小于20 nm的铝模芯，采用磁控溅射的方法在铝模芯上制备厚度大于5 μm的铜防护层，得到铝铜复合芯轴。对制备的铜防护层的表面微观结构、结晶性能、厚度一致性进行了分析测试，结果表明磁控溅射法制备的铜防护层沿(111)面择优生长，表面粗糙度均方根值小于30 nm，厚度一致性优于95%，圆柱度小于1 μm。镀层与基底结合力强，可满足大厚度黑腔涂层的制备需求。
惯性约束聚变 铝铜复合芯轴 磁控溅射 表面粗糙度 结晶性能 inertial confinement fusion Al/Cu hybrid mandrel magnetron sputtering surface roughness crystallinity 强激光与粒子束
2013, 25(12): 3255
