1 重庆理工大学 化学化工学院， 重庆400054
2 重庆大学 材料科学与工程学院， 重庆400044
利用偏压增强化学气相沉积系统，以CH4、H2和NH3为反应气体，分别在沉积有钛膜和碳膜的Si衬底上制备锥形碳结构，并用扫描电子显微镜、X射线能谱仪和显微Raman光谱仪对其进行表征，结果表明所制备的样品为锥形碳氮结构。用显微Raman光谱仪对锥形碳氮结构在室温下的发光性能进行了研究，发光谱显示出中心在621,643,726 nm的发光带。根据碳氮薄膜的发光机理对锥形碳氮结构的发光性能进行了分析。
锥形碳氮结构 Raman光谱 发光机理 CN cones Raman spectrum photoluminescence mechanism
