西安交通大学 机械工程学院 机械结构强度与振动国家重点实验室, 陕西 西安 710049
针对材料和结构均特殊的透明材料微小器件的键合质量检测, 提出了可见光透射机器视觉检测法。分析了检测系统硬件中主要部件的性能要求, 研究了该检测系统的图像处理技术。检测系统利用光源、相机、镜头和计算机等主要部件实现图像采集功能, 并通过图像相减、灰度直方图调整、图像滤波和图像二值化等图像处理功能来完成质量检测。实验结果表明, 提出的可见光透射机器视觉检测法能灵敏有效地检测出透明材料微小器件键合位置处存在的键合间隙和缺陷大小, 检测精度可达10 μm, 满足透明材料微小器件键合质量的要求, 是一种高效、非接触、无损、无污染的检测方法。
机器视觉 可见光透射 微器件 键合质量检测 machine vision visible light transmittance micro device bonding quality testing
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
3 Ecole Polytechnique, Laboratoire pour l'Utilisation des Lasers Intenses,Route de Saclay, Palaiseau, 91128 France
采用热键合技术,制作中运用不同的工艺参量制作出12片Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12(Yb:YAG/YAG)复合晶体。利用偏光显微镜对其键合界面进行了观察,研究了样品的透射光谱,从而确定出复合晶体合适的制作工艺。通过透射光谱的形状和透射率来表征复合晶体键合界面的质量。研究表明Yb:YAG/YAG复合晶体键合质量较好,可实现一体化。
光学材料 复合晶体 键合质量 透射光谱 透射率
