1 华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北 武汉 430074
2 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 陕西 西安 710068
采用波长800 nm,脉冲宽度150 fs,脉冲重复率1 kHz的飞秒激光,研究了在不同物质以及不同加工条件下的微加工特性,在镀金薄膜和镀银薄膜上获得了近衍射极限的刻线加工尺度,在半导体GaAs材料上制备了直径3 μm 的4×4点阵。 在加工速度为400 μm/s的条件下,在ZK6玻璃和LaF2玻璃上制备了透射式衍射光栅,光栅常数分别为2.5 μm和5 μm。
超快光学 飞秒激光 微加工 镀金薄膜 镀银薄膜 光栅
