北京理工大学 光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京100081
阶跃样品显微测量时, 样品三维形貌本身丰富的阶跃信息极易受到噪声高频信号的干扰, 如何在滤除噪声的同时保持三维形貌的阶跃特征, 实现对样品表面三维形貌信息的高精度测量是一个重要研究问题。利用小波函数良好的空间域和频率域的局部化特性, 针对阶跃型样品的特点选取Haar小波, 并采用一种基于模平方的阈值处理方法对三维形貌信息小波去噪方法进行研究。将该方法应用在本课题组研制的激光差动共焦显微镜扫描台阶样品得到的三维高度轮廓中, 去噪后测量样品高度与OLYMPUS共焦显微镜扫描结果相对比, 误差为0.146 8 nm, 满足三维形貌信息后续测量分析的要求, 证明了算法的有效性。
小波去噪 阶跃型三维形貌 Haar小波 差动共焦 wavelet denoising step three-dimensional shape Haar wavelet differential confocal
