基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘，能够在PZT驱动器的作用下改变面形，用于中小口径非球面镜加工。为优化设计基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘，利用有限元分析方法，计算各驱动器的影响函数，计算非球面能动抛光盘的输出面形，与理论面形比较得到剩余残差。以优化设计驱动器排布方式和极头直径为例，当非球面能动抛光盘中心到非球面工件中心的距离L为120mm，分别计算比较，极头直径为Φ10mm时，19单元PZT圆形排布与21单元PZT方形排布的剩余残差；以及19单元PZT圆形排布时，极头直径为Φ10mm与Φ14mm的剩余残差。结果表明，非球面能动抛光盘产生变形后的剩余残差RMS相应分别为0.303μm、0.367μm、0.328μm。因此，基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘确定选用19单元PZT圆形排布且极头直径Φ10mm。

基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘，能够在PZT驱动器的作用下改变面形，用于中小口径非球面镜加工。研制了一个口径100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光盘，用于口径为350 mm、k＝－1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜的加工实验。为研究PZT压电陶瓷驱动器迟滞效应对非球面能动抛光盘输出面形的影响，实测各PZT压电陶瓷驱动器的电压位移特性曲线，用基于径向基函数的神经网络算法建立了各PZT压电陶瓷驱动器位移输出特性的数学模型并实施补偿，实测了各PZT压电陶瓷驱动器迟滞补偿前后的位移输出值。最后，利用有限元分析方法，得到了迟滞补偿前后非球面能动抛光盘的输出面形RMS以及剩余残差RMS分别为1.910 μm和0.342 μm。通过补偿各PZT压电陶瓷驱动器的迟滞效应，非球面能动抛光盘输出面形精度得到了提高，剩余残差RMS减少了82%。