1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033
2 中国科学院大学，北京 100039
为了改善现有CO2激光器工频LC谐振充电时充电电压随激光器工作频率升高而降低、影响激光输出的稳定性和光束质量，不利于装置的小型化和轻量化的问题。采用全桥逆变结构和串联谐振软开关电路，研究了36kV/10kW高频高压充电电源。该电源系统采用三相380V 交流电作为供电系统，大功率智能功率模块作为全桥逆变电路。逆变交流信号经串联谐振电路及高频脉冲变压器得到高压脉冲信号，高压脉冲经整流给负载电容充电，电源应用电压电流双闭环控制系统，输出电压、电流经采样及放大后，反馈到电源控制芯片SG3525，芯片SG3525通过判断反馈信号的大小，控制输出脉冲宽度调制驱动信号的占空比。激光器放电频率为25Hz时，电源输出电压为37kV，峰值输出功率为13.05kW，充电效率为0.826。结果表明，该高频高压充电电源适合用作CO2激光器的高压充电电源。
激光技术 CO2激光器 串联谐振 充电电源 高频高压变压器 laser technique CO2 laser series resonant charging power supply high frequency and high voltage transformer
介绍了一种用于X射线衍射仪的大功率高频高压电源.该电源采用高频技术克服了工频电源的设备重、体积大、纹波大等缺陷;运用脉宽调制技术(PWM)使其具有良好的稳定性和自保护性能;采用功率因数校正技术(PFC)使其功率因数接近于1,提高了电能的利用效率,减少了对电网的污染.
X射线衍射仪 脉宽调制 功率因数校正 高频高压
