透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展

李佳群; 闫剑锋; 李欣; 曲良体

doi:doi:10.3788/CJL202148.0202019

中国激光, 2021, 48 (2): 0202019, 网络出版: 2021-01-07

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Research Advancement on Ultrafast Laser Microprocessing of Transparent Dielectrics

李佳群 ¹闫剑锋 ^1,*李欣 ²曲良体 ^1,3

作者单位

¹ 清华大学机械工程系, 北京 100084

² 北京理工大学机械车辆学院, 北京 100081

³ 清华大学化学系, 北京 100084

补充材料

李佳群, 闫剑锋, 李欣, 曲良体. 透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展[J]. 中国激光, 2021, 48(2): 0202019. Jiaqun Li, Jianfeng Yan, Xin Li, Liangti Qu. Research Advancement on Ultrafast Laser Microprocessing of Transparent Dielectrics[J]. Chinese Journal of Lasers, 2021, 48(2): 0202019.