作者单位
摘要
1 清华大学机械工程系,北京 100084
2 摩擦学国家重点实验室,北京 100084
3 清华大学化学系,北京 100084
二氧化钛兼具优异的光化学性质和光学性质,被广泛应用于能源材料、光学信息等领域的微纳功能器件中。二氧化钛的微纳加工与成形技术是二氧化钛微纳功能器件制备的关键技术基础。超快激光由于具有超短脉宽和超高能量峰值等特性而成为理想的微纳制造工具之一,近年来在二氧化钛的微纳加工领域中得到了广泛的关注。综述了超快激光加工二氧化钛微纳结构及功能器件的研究进展,包括二氧化钛的性质及应用、超快激光与二氧化钛的作用机理、二氧化钛微纳结构的超快激光加工技术,介绍了利用这些技术加工的二氧化钛光解水制氢器件、图案化结构色器件和光学加密器件等微纳功能器件,并对超快激光微纳加工技术在二氧化钛微纳结构及功能器件加工领域中的应用前景进行了展望。
激光技术 二氧化钛 微纳结构 功能器件 超快激光 微纳制造 
中国激光
2022, 49(22): 2200002
作者单位
摘要
1 原子分子簇科学教育部重点实验室, 光电转换材料北京市重点实验室, 北京理工大学化学与化工学院&机械与车辆学院, 北京 100081;
2 武汉光电国家研究中心, 华中科技大学光学与电子信息学院, 湖北 武汉 430074
3 教育部先进材料加工技术重点实验室, 摩擦学国家重点实验室, 清华大学机械工程系&化学工程系, 北京 100084;
随着便携式可穿戴电子产品的快速发展,亟需开发小型化柔性新能源储能器件与之匹配。平面型微型超级电容器(MSC)因具有功率密度高、循环寿命长、易于集成等特点,在微型储能器件中备受关注。在多种构建微型超级电容器的方法中,激光处理是一种便捷高效、可快速集成化的加工手段。鉴于此,综述了激光加工平面型微型超级电容器的研究进展,包括激光辅助构建微型储能器件的方式、典型的激光加工的平面型微型超级电容器及其电极材料,材料包括石墨烯类、MXene类、金属氧化物类、聚合物类以及金属有机框架(MOF)类等。同时,对激光加工微型超级电容器未来的发展趋势和面临的挑战进行了展望。
激光技术 微纳加工 微型超级电容器 平面 集成 
中国激光
2021, 48(2): 0202013
作者单位
摘要
1 清华大学机械工程系, 北京 100084
2 北京理工大学机械车辆学院, 北京 100081
3 清华大学化学系, 北京 100084
透明介质材料具有高透光性、高耐热性和良好的耐腐蚀性,被广泛应用于航空航天、微电子器件和光学元件等领域,这些应用对透明介质材料微纳加工的精度与质量提出了一定的要求。超快激光具有超高的峰值强度与超短的脉冲持续时间,可突破衍射极限并极小化热影响区,具有出色的加工精度与加工质量,为透明介质材料的微纳尺度加工提供了多样化的手段。综述了透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展,包括超快激光加工透明介质材料的内部结构、相关机理和应用领域三个方面,并对透明介质材料的超快激光微纳加工进行了总结与展望。
激光技术 超快激光 透明介质材料 微纳加工 折射率变化 纳米光栅 纳米孔洞 
中国激光
2021, 48(2): 0202019
作者单位
摘要
1 北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造实验室, 北京 100081
2 清华大学摩擦学国家重点实验室, 北京 100084
3 清华大学先进成形制造教育部重点实验室, 北京 100084
飞秒激光具有脉宽超短、瞬时功率密度超高、非线性加工的特点,对低维纳米材料的制备和加工有着独特的优势,且具有广泛的材料适应性,能够方便快捷地针对需要精确靶向定位和图案化加工的纳米材料做出加工策略。本文综述了飞秒激光对低维纳米材料的制备加工和改性的研究现状,介绍了时空整形飞秒脉冲激光方法下制备的功能性量子点、纳米线、二维薄膜材料,和这些材料在化学催化、生物化学检测、生物相容性及电子器件等领域的应用,分析讨论了激光液相烧蚀制备纳米材料和集成化器件加工当前所面临的挑战和今后的研究重点。
激光技术 飞秒激光 纳米材料 低维 液相烧蚀 微纳制造 
中国激光
2021, 48(2): 0202004
作者单位
摘要
1 清华大学机械工程系, 北京 100084
2 北京理工大学机械车辆学院, 北京 100081
3 清华大学化学系, 北京 100084
物质的结晶在生物制药、大分子结构分析等领域有着重要的应用,这些应用对结晶结果(包括晶体数量、大小、晶型等)提出了一定的需求,而通过蒸发溶剂或改变温度使溶质析出结晶的传统方法,存在结晶结果难以控制的问题。近年来,超快激光在调控晶体形核生长中的应用得到了关注和研究。超快激光以其超快、超强的特点,在调控晶体形核与生长方面具有独特的作用,且具有热影响区域小、适用材料范围广等优势。本文综述了超快激光调控晶体形核生长过程的研究进展,主要包括超快激光诱导结晶形核、控制晶体生长过程以及晶面图案化加工三个方面,并对超快激光调控晶体形核生长研究的应用前景进行了展望。
激光技术 超快激光 结晶 形核 晶体生长 
中国激光
2021, 48(2): 0202020
作者单位
摘要
1 清华大学机械工程系, 北京 100084
2 北京理工大学机械车辆学院, 北京 100081
3 清华大学化学系, 北京 100084
氧化石墨烯(GO)是结构中含有部分含氧官能团的石墨烯衍生物,通过加热、化学反应和激光诱导等方法,该材料可以被还原。激光辐照可以诱导一定区域内的GO发生还原反应,具有灵活、区域选择性良好、无需特殊环境等优点。提出了一种基于空间整形的飞秒激光图案化加工GO的方法,即空间整形激光辐照法,分别采用空间整形激光辐照法和激光逐点扫描法在GO上加工图案,并对加工结果进行表征和对比,分析了辐照时间、激光通量等参数对加工结果的影响。结果表明空间整形激光辐照法可以图案化加工GO并使加工区域的GO被还原,从而提高图案化加工效率,且该方法具有良好的可重复性和图案灵活性,在制备GO基底的微电路、微器件方面具有应用潜力。
激光技术 飞秒激光 空间光整形 氧化石墨烯 图案化加工 
中国激光
2021, 48(2): 0202018

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