超精密测量是指测量精度达到纳米量级的先进测量技术、系统与仪器，是现代科技发展与高端装备制造的基石，涉及物理、材料、光学、机械、电子、控制和算法等多个学科的深度交叉与融合。超精密测量主要以非接触的光学测量方式为主，其涉及干涉、衍射、光谱、偏振和散射等基础效应与测量原理，具有分辨力高、速度快、非破坏、易于集成等优势，一直是超精密测量的重点发展方向。近年来随着现代光学与光电子学的快速发展（如微纳光学、极短波长光学、量子光学），出现了若干新的光学测量原理与方法，推动了超精密测量向更高分辨、更高精度、更高效率和更高性能等方向不断发展。

为了集中展示国内外超精密测量在原理方法、技术、仪器及其应用等方面的最新研究进展，促进学术交流，推动相关领域纵深发展，《激光与光电子学进展》决定在2023年第3期（2月）推出 “超精密测量技术”专题，现公开征集该领域高水平研究论文和综述文章。

征稿范围：

征稿范围包括但不限于以下领域：

1、超精密测量溯源与计量标准；

2、光电玻璃结构与性能表征超精密测量新原理、新方法；

3、超精密测量仪器精度理论；

4、超精密测量数据处理分析方法；

5、超精密测量技术应用。

征稿范围不局限于上述内容，非常欢迎不局限于上述内容的超精密测量技术理论和技术相关的论文！

截稿日期：

2022年9月30日

投稿方式及格式：

通过 《激光与光电子学进展》官方网址的投稿系统进入“作者中心”，按系统要求填写信息，上传稿件（留言标明“超精密测量”专题投稿）。投稿模板及要求请参见作者中心首页。

联系人： 张雁

电 话： 021-69918427

邮 箱： zy@siom.ac.cn

特邀组稿专家：

谭久彬，中国工程院院士。哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院院长、国家计量战略专家咨询委员会副主任，中国仪器仪表学会副理事长，中国计量测试学会副理事长，国际测量与仪器委员会（ICMI）常务委员等。 从事超精密测量与仪器工程的科研与人才培养工作。面向高端装备制造质量提升的特殊需求，提出超精密仪器与装备精度调控方法及理论；突破超精密运动基准等系列核心技术，研制成功4种国家级计量标准装置和21种大型超精密测量仪器与超大型超精密测试装备，创建了超精密仪器与装备精度调控技术体系与平台体系；解决了我国战略武器装备、航空发动机、高性能卫星相机等36个重大型号高端装备研制生产中的超精密测量与精度调控难题，显著提升了重大型号装备的精度水平。建成国内第一个超精密仪器研发基地和产业化基地。作为第一完成人，获国家技术发明奖一等奖1项（2006年），二等奖2项（2013、2016年）。

刘世元，华中科技大学机械学院、光电学院双聘教授，博士生导师，华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任；国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新领军人才；国际测量与仪器委员会委员，中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长。长期从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造测量检测技术与装备、计算光刻成像理论与应用等方面的研究，先后主持国家自然科学基金（7项，包括杰青项目、重大仪器项目和重点项目）、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家02重大专项等科研项目，获发明专利100余件，发表学术论文200余篇。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化，在中芯国际、长江存储、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头企业获得批量应用。

赵维谦，北京理工大学光电学院教授，博士生导师，校信息学部副主任，国务院“仪器科学与技术学科”学科评议组成员。曾入选国家“万人计划”百千万工程领军人才计划、长江学者特聘教授计划和新世纪百千万人才工程国家级人选计划等。长期从事精密光电成像/检测方向的原理方法、关键技术与仪器装备集成方面的创新研究工作，发明并研制成功多台套精密光电测试仪器装备，解决了国家和国防领域的一些关键测试难题，成果获得包括1项国家技术发明奖一等奖（序2）、1项国家技术发明奖二等奖（序1）、4项部级发明/进步一等奖（序1、2、2、3）和2项中国计量测试学会一等奖（序1、1）等在内的10余项科技奖项，发表SCI检索论文近百篇，授权中外发明专利100余项。

居冰峰，浙江大学求是特聘教授、博士生导师，“长江学者”特聘教授、国家杰出青年基金获得者，浙江大学机械工程学院常务副院长。1999年获得浙江大学工学博士学位，2000-2007年在新加坡、日本从事教学与科研工作，2007年晋升为浙江大学机械工程学院教授，2009-2014年担任流体动力与机电系统国家重点实验室副主任。主要研究方向为超精密加工与测量技术。近五年主持国家自然科学基金重点项目、863计划重点项目、浙江省重点研发项目以及其它省部级项目等20余项，共发表SCI检索国际期刊论文120余篇，获授权中国、日本、PCT发明专利26件。第一完成人获得中国机械工业科学技术奖一等奖2项（2013、2020）、浙江省技术发明一等奖1项（2021）等。指导的1篇博士论文获“上银优秀机械博士论文奖”、4名博士生获教育部“博士研究生学术新人奖”、6名博士生获得留学基金委CSC项目和美、日著名高校联合培养、指导的1篇硕士论文获浙江省优秀硕士论文等。