———2023年第3期封面论文导读———
本文基于电控光学采样原理开展了飞秒激光飞行时间绝对距离测量的实验研究，提出了一种控光学采样与飞行时间法相结合的双光梳飞行时间测距技术，兼具大测程、高精度、高速度的特点，并展示了该技术在硅基微结构器件深凹槽测量中的应用...详细»
本期栏目(2023.3)
探测器; 光纤光学与光通信; 成像系统; 仪器，测量与计量; 激光器与激光光学; 机器视觉; 非线性光学; 光学设计与制造; 光学器件; 表面光学; 遥感与传感器; 光谱学; X射线光学;
【封面解读】封面展示了一项飞秒激光频率梳微纳测量技术，用于解决微结构器件中的深沟槽测量问题。该技术基于双光梳绝对测距原理，通过飞行时间法直接获取微沟槽的深度，结合电控光学采样技术提高测量的更新速度。实验测量了硅基微机械结构中的深度约为70微米的凹槽，更新速度最高达到200 kHz，经过4100次平均，测量精度优于20 nm。
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基本信息
创刊:1981年·半月刊
名称:光学学报
英文:Acta Optica Sinica
电话:021-69916837
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