—— 封面文章导读 ——
中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术重点实验室展示了近年来在液滴发生器方面的研究进展，相关论述以“100 kHz 重复频率锡液滴靶研究”为题发表在我刊... 详细>>
↑【封面解读】本封面展示的是应用于先进极紫外光刻机的液滴靶。图的上部是微液滴受激发光，液滴后面的背景是极紫外光刻机内部复杂的管线和设备，表达锡液滴是其中不可分割的一部分。液滴与底部明亮的光路遥相辉映，代表由锡液滴提供燃料的极紫外光源成为未来光刻领域的主流光源，将构造出更精密的电子器件，并将继续超越，推动信息革命的到来。
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基本信息
创刊:1964年·半月刊
名称:激光与光电子学进展
电话:021-69918427
地址:上海市嘉定区清河路390号
———— 2023年第23期优秀论文 ————
100 kHz重复频率锡液滴靶研究 (封面文章，特邀研究论文)
【作者】孙海轶, 王关德, 李学红, 彭凯伦, 邹家杰, 彭宇杰, 王成, 冷雨欣, 徐静浩, 范李立, 袁丰华, 李中梁, 步扬, 王天泽, 张子怡, 新刚, 林楠
【单位】中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术重点实验室
【作者】梁飞, 何程, 陈延峰, 于浩海, 张怀金
【单位】山东大学晶体材料国家重点实验室
【作者】康博雯, 陈环, 张正龙, 郑海荣
【单位】陕西师范大学物理学与信息技术学院
【作者】李兵, 车尧, 徐辉, 张志刚, 周洪
【单位】科学技术部科技人才交流开发服务中心
【作者】徐思聪, 周雯, 余建军
【单位】复旦大学通信科学与工程系
【作者】崔少杰, 康杰虎, 吴斌
【单位】天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【作者】马凤瑞, 段发阶, 刘文正, 傅骁, 张聪
【单位】天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【作者】田华麟, 张嘉杰, 邱辞源, 冯元华
【单位】 暨南大学信息科学技术学院
