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——  “超精密测量技术”专题论文推荐! ——

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聚焦国家重大专项、国家自然科学基金委员会重大科学仪器项目,围绕国家在集成电路、航空航天、新能源、生物医药等先进制造领域的重大战略布局,《激光与光电子学进展》适时推出“超精密测量技术”专题

本专题特别邀请谭久彬院士撰写特邀导言,国家自然科学基金委员会工程与材料科学部机械学科主任叶鑫等从科学基金资助情况统计和文献分析本领域的代表性进展。邀请了来自华中科技大学刘世元教授课题组、西北工业大学张开富教授课题组、中科院上海光机所苏榕研究员课题组、清华大学谈宜东教授课题组的四篇特邀综述作为封面文章。整个专题包含1篇特邀导言、16篇特邀综述和8篇特邀研究论文。

在此,衷心感谢为本专题提供高水平论文的所有作者以及为本专题的顺利出版做出贡献的所有专家,以及谭久彬院士、刘世元教授、赵维谦教授、居冰峰教授四位组稿专家的积极组织与筹划。

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 基本信息

 创刊:1964年·半月刊

 名称:激光与光电子学进展

 电话:021-69918427

 邮箱:lop@siom.ac.cn

 地址:上海市嘉定区清河路390号

————  专题封面文章推荐  ————

超精密测量技术与仪器是高端制造发展的前提与基础(特邀导言)

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【单位】哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院

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【作者】叶鑫, 刘世元, 邾继贵, 黄志权, 朱金龙, 赖一楠, 苗鸿雁, 王岐东

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先进节点图案化晶圆缺陷检测技术(特邀综述,封面文章)

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【作者】徐欣, 谈宜东, 穆衡霖, 李岩, 王加刚, 金景峰

【单位】清华大学精密仪器系

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