光学 精密工程, 2007, 15 (2): 192, 网络出版: 2008-02-18
子孔径拼接干涉法检测非球面
Testing asphere by subaperture stitching interferometric method
摘要
介绍了子孔径拼接干涉检测非球面的理论和方法,分析了其基本原理,基于齐次坐标变换、最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了一种合理的拼接算法和数学模型.对一抛物面镜进行了五个子孔径的计算机模拟拼接实验,拼接前后全孔径面形误差分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分别为-0.009 2 λ和0.001 3 λ;全口径相位分布的PV值和RMS值的相对误差分别为-0.39%和0.44%.实验结果表明,利用子孔径拼接技术不需要零位补偿就能实现对较大口径非球面的测量.
Abstract
王孝坤, 王丽辉, 张学军. 子孔径拼接干涉法检测非球面[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(2): 192. 王孝坤, 王丽辉, 张学军. Testing asphere by subaperture stitching interferometric method[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(2): 192.
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