蔡梦雪 1,2,3,4王孝坤 1,2,3,4张志宇 1,2,3,4李凌众 1,2,3,4[ ... ]张学军 1,2,3,4
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
3 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033
4 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033
由于仪器传递函数(Instrument Transfer Function, ITF)能准确反映仪器在空间频率上的响应特征,被广泛应用于仪器规范之中。目前多采用刻有单一台阶特征或不同周期正弦特征的平面测试板对干涉仪的ITF进行检测。针对平面测试板无法完成高陡度球面/非球面镜检测时ITF标定的问题,提出了根据球面台阶测试板标定高陡度镜面检测的子孔径拼接ITF的方法。通过超精密车削技术制作了球面台阶测试板,并对其进行拼接检测,根据梯度定位法和旋转矩阵完成检测孔径中台阶的定位及采样,利用傅里叶变换方法实现对台阶实测面形的功率谱密度求解,最后与理想面形功率谱密度做比获得ITF。对口径100 mm、曲率半径100 mm、带有同心圆环台阶结构的球面台阶测试板进行拼接检测以及数据分析,实验结果表明:在1 mm−1的空间频率范围内,各个子孔径对高陡度镜面的检测水平平均可达到82.72%,具有较好的检测精度,随后ITF逐渐衰减,当空间频率在1.5 mm−1左右时,仅能达到40%~60%。
高陡度球面 高陡度非球面 仪器传递函数 子孔径拼接 球面台阶测试板 high-steep spherical surface high-steep aspheric surface instrument transfer function sub-aperture stitching spherical step test board 红外与激光工程
2023, 52(9): 20230462
红外与激光工程
2022, 51(9): 20220576
红外与激光工程
2022, 51(1): 20210953
1 中国计量大学 计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
2 浙江大学温州研究院,浙江 温州 325006
针对大口径的高斜率动态范围光学元件的测量需求,提出了基于光学偏折技术的子孔径拼接测量方法。利用所搭建的条纹投影光学偏折测量系统,结合子孔径划分拼接方法,对各子孔径分别进行测量,并根据实际测量结果与测量系统模型光线追迹结果的偏差,高精度测得各个子孔径的面形数据,由此对各子孔径进行拼接来实现全口径面形测量。光学偏折测量技术相对干涉法具有很大的测量动态范围和视场,可极大降低所需的子孔径数量,由此大大提高了检测效率。同时提出了针对重叠区域的加权融合算法来实现拼接面形的平滑过渡。为验证所提出方案的可行性,分别进行了仿真分析以及实验验证。对一高斜率反光灯罩进行拼接测量实验,并将拼接测量与全口径测量结果进行对比。结果表明,利用所提出测量方法获得的拼接面形连续光滑,且与全口径测量面形RMS值偏差为0.0957 µm,优于微米量级。该测量具有较高的测量精度和大动态测量范围,并且系统结构简单,为各类复杂光学反射元件提供了一种有效可行的检测方法。
光学检测 条纹投影光学偏折 子孔径拼接 大动态范围 optical testing fringe-illumination deflectometry sub-aperture stitching large dynamic range 红外与激光工程
2021, 50(11): 20210105
1 华中科技大学 光学与电子信息学院,湖北 武汉 430074
2 广东省季华实验室,广东 佛山 528200
3 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
4 湖南工业大学 轨道交通学院,湖南 株洲 412007
为了解决大口径平面反射镜高精度检测问题,建立了一种基于全局优化的子孔径拼接检测数学模型,同时提出了一种拼接因子用于重叠区域取值。基于上述方法,结合工程实例,对一口径为120 mm的平面反射镜完成拼接检测,检测中共规划了四个待测子孔径,为了对比文中所述算法与传统最小二乘拟合拼接算法的拼接性能,分别利用两种算法完成了待测平面镜的面形重构。实验结果表明,两种算法所得拼接结果光滑、连续、无“拼痕”,同时分别将两种算法所得拼接结果与全口径检测结果进行了对比分析,从传统拼接算法残差图中可以看到明显的“拼痕”,而加权拼接方法得到的拼接结果光滑、连续,同时其残差图的PV与RMS值分别为0.012λ与0.002λ,小于传统算法残差图的PV与RMS值,验证了算法的可靠性与精度。
光学检测 干涉测量 子孔径拼接 拼接因子 optical testing interferometer subaperture stitching stitching factor 红外与激光工程
2021, 50(10): 20210520
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
大口径空间巡天望远镜的精确平场定标是实现既定科学目标的重要前提。目前普遍是通过平场屏幕或大口径积分球提供均匀平场基准来检验像面响应一致性。针对平场屏幕照明均匀性差,超大口径积分球制备困难等问题,本文提出了一种基于子孔径扫描的平场定标方法,以改善平场基准的均匀性及杂散光导致的定标不确定度。首先,完成子孔径平场定标理论分析,建立子孔径平场定标数学模型,规划子孔径扫描路线及扫描孔径大小,进行标定用准直系统参数的初设计。其次,完成像面照度仿真验证实验。最后,搭建实验平台,对规划的子孔径进行扫描,构建全口径照度数据,验证上述大口径空间巡天望远镜子孔径拼接平场定标方案的可行性。实验结果表明:以全口径为基准,用子孔径拼接法扫描待测系统像面能量叠加对比全口径像面照度,能够恢复全口径的照度信息,全口径像面灰度值为231.085,单个子孔径叠加灰度值为233.350,误差为1%,本文研究表明子孔径拼接法可用于大口径巡天望远镜的平场定标,具有实际应用价值。
大口径 平场定标 巡天望远镜 子孔径拼接 large diameter flat-field calibration survey telescope sub-aperture stitching
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
参考面二阶项(离焦和像散)误差是导致拼接累积误差的主要因素,而参考面高阶误差会导致高频面形误差。分析由参考面误差二阶项和高阶项导致的拼接误差的规律。研究参考面误差导致任意两个子孔径拼接误差之间的关系。提出一种可以有效减小参考面高阶项误差对子孔径拼接结果影响的算法。该算法将拼接后的子孔径面形数据对应相减,分离出参考面高阶项误差的拼接误差。数据仿真和实验验证表明了该算法的正确性和有效性。
测量 干涉测量 子孔径拼接 参考面误差 拼接误差 中国激光
2019, 46(12): 1204006
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
为实现大口径光学元件波前功率谱密度(PSD)的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法,分析了拼接干涉检测的误差来源。对拼接检测算法进行了仿真验证,结果表明,拼接检测的波前畸变峰谷值(dpv)与PSD的均方根值(PRMS)的相对偏差分别为1.2%和0.1%。采用口径为620 mm×450 mm光学元件开展了5次拼接检测实验,比较了拼接检测与全口径直接检测结果,两者分布一致, dpv偏差不大于0.012λ(λ=632.8 nm),PRMS偏差不大于0.03 nm,表明该算法稳定可靠,可实现大口径光学元件波前PSD的拼接检测。
测量 子孔径拼接 相关匹配 功率谱密度 波前测量
为了实现大口径凸非球面镜的高精度检测, 本文研究了凸非球面非零位子孔径拼接检测技术, 并建立了一套非零位拼接检测算法模型, 模型中分别针对同轴子孔径与离轴子孔径非零位检测时所引入的测试误差进行了建模分析, 同时对测试误差剔除、拼接系数求解、全口径面形获得等问题进行了研究。最后, 结合工程实例, 对一口径为130 mm的凸双曲面进行了拼接检测, 分析了该非球面各测试子孔径非零位检测误差形式, 同时进行了误差剔除、全口径面形获取等工作。从拼接结果中可以看出, 拼接结果光滑、连续、无拼接痕迹。为了进一步验证拼接精度, 我们将拼接结果与子孔径检测结果进行对比, 引入了自检验子孔径评价方法, 计算得到自检验子孔径与拼接结果在自检验子孔径范围内的残差图, 二者残差图的PV值与RMS值分别为0016λ与0003λ, 由上述结果可以得到自检验子孔径的测试结果与拼接结果在自检验子孔径范围内是一致的, 从而验证了本文算法的拼接精度。
干涉测量 子孔径拼接 非零位 凸非球面 interferometry sub-aperture stitching non-null convex aspherical mirror