光子学报
2023, 52(12): 1210001
1 南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094
2 江苏省计量科学研究院,江苏 南京 210023
3 上海市计量测试技术研究院,上海 201203
白光显微干涉术是微结构三维形貌无损测量的有效手段,但当沟槽深度小于光源相干长度时易产生蝙蝠翼效应。ISO-25178系列规定了由三维形貌计算沟槽深度和线宽两项特征参数的方法。该计算法则首先需要确定阶跃边缘位置,然而蝙蝠翼位于阶跃边缘,造成形貌中的阶跃边缘位置定位困难。本文针对上述问题,摒弃了从三维形貌中提取阶跃边缘位置的传统方法,依据干涉图像中矩形光栅上下表面边缘位置采样点相干峰分布的差异性,提取相干包络峰值位置,并计算得到用于区分阶跃上下表面的掩膜。本文提出的方法从垂直扫描干涉图像出发,同步实现三维形貌复原和阶跃边缘位置定位,继而准确、高效地计算沟槽深度和线宽。本文以两种不同特征参数的矩形光栅作为检测对象,比对了测量结果与标称值之间的偏差,并对测量过程中的误差项进行了分析。实验结果证明,本文方法具有良好的重复性和鲁棒性。
显微干涉 矩形光栅 蝙蝠翼效应 特征参数 二值化 光学学报
2023, 43(22): 2205004
南京师范大学计算机与电子信息学院,江苏省光电技术重点实验室,江苏 南京 210023
提出了一种基于双环光电振荡器(OEO)的频分复用光纤布拉格光栅(FBG)传感系统。在该传感系统中,从两个级联的FBG反射的光信号经马赫-曾德尔调制器调制后进入光路的双环结构,两路光信号经耦合后再通过波分复用分成两路,由光电探测器还原为电信号。该电信号分别通过两个不同中心频率的电带通滤波器后形成稳定的微波振荡,输出两路微波信号,分别对应两个FBG传感器。最后,通过对两路微波信号的频率漂移进行测量,最终实现传感解调。实验中对两个FBG分别施加应变和温度,结果表明:传感系统的应变灵敏度为0.100 kHz/μ?,最大频率偏移0.035 kHz,对应0.35 μ?的测量误差;温度灵敏度为1.135 kHz/℃,最大频率偏移0.072 kHz,对应0.06 ℃的测量误差。该系统借助双环OEO的结构,具有稳定性高、测量误差小的优点。
传感器 光电振荡器 微波光子学 频分复用 光纤光栅 光学学报
2023, 43(20): 2028002
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094
针对现有散射光线追迹概率模型方案受限于解析解难以获取的问题,提出利用拒绝采样法设计基于双向反射分布函数(BRDF)的散射光线追迹概率模型,通过设置检验条件规避了积分求解过程,进而筛选出有效角度坐标,实现散射光线追迹,该方案具有适用范围广的优势。对于具有平移不变性的BRDF模型,进一步提出对称采样方案,通过将采样区域减半后再镜像提升速率。设置表面属性、入射角与追迹光线数量等仿真条件相同,编制了本文方案的仿真程序,对不同光机结构材料进行建模仿真后从重复性和精确度方面与LightTools软件运算结果作对比验证,基于拒绝采样法编制程序的仿真结果可以与软件模型结果相媲美。最后对软件中未包含的BRDF模型进行建模仿真以进一步验证上述方案的普适性。
测量 双向反射分布函数 光线追迹 拒绝采样法 蒙特卡罗法 概率模型
微纳尺度的微结构可调制光场,提高传感器的灵敏度,是新一代功能器件或传感器件中广泛使用的重要结构特征。包含微细加工在内的先进制造技术的快速发展,对多种型式微纳尺度微结构的无损测量技术提出了紧迫的需求。本文从多维视角论述了国内外行业发展中出现的微结构种类、型式,围绕具有高精度无损检测特质的光学显微技术,阐述了国内外仍在继续发展的微结构无损检测四种主流方法,分析了这些方法的技术特点、适用对象,给出了典型样品的检测结果,其中部分结果是首次发表。结果表明,暗场显微机器视觉法,是振幅型颗粒、凹坑、划痕等有害微结构的有效检测方法,可以实现大尺度样品的快速检测;共焦显微成像和低相干显微干涉法是“相位”型微结构的最佳检测方法,可以得到微结构的三维形貌;光谱反演-过焦扫描法与近红外显微干涉法,是应高深宽比微结构无损检测需求而发展起来的新方法,前者可以快速测得线宽和深度,后者可以测得物镜视场范围内高深宽比微结构的三维形貌,二者可以相互验证与补充。
1 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
2 南京理工大学自动化学院, 江苏 南京 210094
3 江苏省中医院, 江苏 南京 210029
4 江苏曙光光电有限公司, 江苏 扬州 225109
光学相干层析成像系统在扫描成像时,会不可避免地引入附加像差。此时,图像细节信息丢失,无法满足医学成像的高清晰度要求。为此,提出一种基于粒子群优化算法的像差校正方法。将像差校正过程以滤波形式建模,由泽尼克多项式的线性组合构成滤波器,通过选定图像信息熵或图像清晰度作为优化指标,利用粒子群优化算法进行迭代估计多项式的最佳系数值,最终得到清晰图像。以分辨率板为仿真目标图像分别加载离焦及低阶混合波前像差,以图像信息熵和清晰度分别作为评价函数,复原结果误差均方根误差(RMS)值均小于0.1λ,得以清晰成像;实验采集洋葱细胞图像,以信息熵作为评价指标,校正像差后其下降18%;采集葡萄组织图像,以清晰度作为评价指标,校正像差后其上升36%;细胞和组织轮廓信息均得以分辨。
成像系统 生物医学成像 光学相干层析 像差校正 泽尼克多项式 粒子群优化 光学学报
2020, 40(10): 1011002
1 华中科技大学-武汉光电国家研究中心, Britton Chance生物医学光子学研究中心, 湖北 武汉 430074
2 华中科技大学生物医学光子学教育部重点实验室, 湖北 武汉430074
现代光学成像技术与荧光标记技术不断发展,为高分辨地获取生物组织三维结构信息提供了重要的工具。然而,大多数生物组织具有不透明特性,限制了光在组织中的穿透深度,进而限制了光学成像技术在大组织或整体器官成像中的应用。近年兴起的组织光透明技术通过多种物理、化学手段降低组织对光的衰减,增加光穿透深度,从而提高光学成像的成像深度与成像质量,为整体组织器官的三维成像提供了全新的思路。本文从离体组织光透明方法、大组织器官标记方法、三维整体成像技术三个方面,对整体器官的光透明成像方法进行综述。
生物光学 三维成像 组织光透明 整体器官 光学成像 大组织标记
南京理工大学 电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
星载激光测高仪接收系统通过收集地表反射的回波信号, 反演卫星与地表的高度。本文提出一种回波模拟光源方法, 产生延时量可调的激光主波和回波周期脉冲信号作为接收系统的检校输入源, 对星载激光测高仪距离参数进行地面标定。首先, 采用主波与回波光电探测器互换的测量方法, 利用频率计数器对回波模拟光源的延时量设定值进行精确测量, 测量方法误差为113 ps。然后, 通过比对回波模拟光源调制的延时量设定值和接收系统测试获取的延时量实测值, 实现对测高误差的标定和校正。研制了一套回波模拟光源系统, 通过3 335 6409~3 669 2050 ns的延时量调制, 实现对500~550 km高度的精确模拟, 模拟延时信号的抖动量为345 ps, 延时偏差小于118 ps, 为百千米级星载激光测高仪提供了高程误差优于6 cm的地面检校能力。
星载激光测高 地面标定 延时量 高程误差 satellite laser altimeter ground calibration time-delay elevation error