作者单位
摘要
借“光学-80”国际讨论会在匈牙利首都布达佩斯召开之机,又得到匈方科学家的友好邀清和安排,我们参观了匈科学院中央物理所、技术物理所、生物研究中心及布达佩斯工业大学的全息实验室。归途中经罗马尼亚又顺访了罗物理中心,仔细参观了他们有关激光与激光材料的研究部门。本文中我们把参观内容加以整理作一介绍。
激光与光电子学进展
1981, 18(4): 7
作者单位
摘要
1984年5~6月,作者有机会考察了美国旧金山及硅谷地区,并参观了规模宏大的半导体博览会,了解到美、日等国将先进的激光技术用于微电子工业,使其取得惊人进展。如80年代激光对准,激光对焦技术促进了分步重复光刻机的发展以及激光图形发生器的发明,使微电子工业进入超大规模集成电路时期。激光还广泛应用于掩模制造、光刻、腐蚀终点检测与硅片检查等各工艺及生产环节,并产生了各种激光加工机。
激光与光电子学进展
1985, 22(5): 7

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!