激光技术, 2007, 31 (4): 0412, 网络出版: 2010-06-03
基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理
Monitor signal processing of optic thin film based on generalized Kalman filters
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O484.4 |
栏目: | 激光材料和光学元件 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2006-05-18 |
修改稿日期: | 2006-08-31 |
网络出版日期: | 2010-06-03 |
通讯作者: | 马孜 (zimameisong@yahoo.com) |
备注: | -- |
赵汝进, 马孜, 姚远程, 何长涛. 基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理[J]. 激光技术, 2007, 31(4): 0412. ZHAO Ru-jin, MA Zi, YAO Yuan-cheng, HE Chang-tao. Monitor signal processing of optic thin film based on generalized Kalman filters[J]. Laser Technology, 2007, 31(4): 0412.