基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

赵汝进; 马孜; 姚远程; 何长涛

激光技术, 2007, 31 (4): 0412, 网络出版: 2010-06-03

基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

Monitor signal processing of optic thin film based on generalized Kalman filters

赵汝进 ¹马孜 ^2,*姚远程 ¹何长涛 ³

作者单位

¹ 西南科技大学信息工程学院，绵阳 621002

² 西南技术物理研究所，成都 610041

³ 四川大学电子信息学院，成都 610064

图 & 表

赵汝进, 马孜, 姚远程, 何长涛. 基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理[J]. 激光技术, 2007, 31(4): 0412. ZHAO Ru-jin, MA Zi, YAO Yuan-cheng, HE Chang-tao. Monitor signal processing of optic thin film based on generalized Kalman filters[J]. Laser Technology, 2007, 31(4): 0412.