掩模偏转方向对硅尖形状的影响

崔岩; 石二磊; 夏劲松; 王立鼎

光学精密工程, 2009, 17 (8): 1865, 网络出版: 2009-10-28

掩模偏转方向对硅尖形状的影响

Effect of changing mask direction on tip shape

崔岩 ^1,2,*石二磊 ¹夏劲松 ¹王立鼎 ¹

作者单位

¹ 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,辽宁大连 116023

² 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116023

基本信息

DOI:	--
中图分类号:	TN305
栏目:	微纳技术与精密机械
项目基金:	国家自然科学基金资助项目(No.90607002)
收稿日期:	2008-07-08
修改稿日期:	2008-09-24
网络出版日期:	2009-10-28
通讯作者:	崔岩 (yanc@dlut.edu.cn)
备注:	--

崔岩, 石二磊, 夏劲松, 王立鼎. 掩模偏转方向对硅尖形状的影响[J]. 光学精密工程, 2009, 17(8): 1865. CUI Yan, SHI Er-lei, XIA Jin-song, WANG Li-ding. Effect of changing mask direction on tip shape[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(8): 1865.