液晶与显示, 2016, 31 (12): 1118, 网络出版: 2016-12-30
具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究
Manufacturing execution system with the parameter control of TFT LCD equipments
基本信息
| DOI: | 10.3788/yjyxs20163112.1118 |
| 中图分类号: | TN873+.93 |
| 栏目: | 材料与器件 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2016-08-30 |
| 修改稿日期: | 2016-10-18 |
| 网络出版日期: | 2016-12-30 |
| 通讯作者: | 陈蔚 (weichen@boe.com.cn) |
| 备注: | -- |
陈蔚, 张雯旭, 冯举, 张璞. 具有管控液晶面板设备工艺参数的制造执行系统的技术研究[J]. 液晶与显示, 2016, 31(12): 1118. CHEN Wei, ZHANG Wen-xu, FENG Ju, ZHANG Pu. Manufacturing execution system with the parameter control of TFT LCD equipments[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2016, 31(12): 1118.
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